氦气是理想的检漏气体

首先，因为最外层的电子是氦2，氦只有一个电子层，所以第一个电子层是2，这意味着已经获得了稳定的结构。因此，氦的化学性质相对稳定，不易反应或爆炸。在一些有价值的设备中，如飞机和宇宙飞船，氦是首选的泄漏检测气体。然而，氦在自然界中储量很少，而且价格昂贵。为了节省成本，一些公司选择氢气和氮气混合气体作为检漏气体，或直接使用氮气作为检漏气。

半导体中氦的泄漏检测

为了防止半导体器件、集成电路和其他组件的表面因废水和蒸汽等杂质而退化，必须使用管壳进行密封。然而，由于各种原因，壳体的密封部分或导线接头上经常出现一些肉眼难以发现的小孔。因此，在包装组件后，必须采取一些方法来检测这些小孔的存在。氦泄漏检测使用氦来检查电子元件外壳上的小泄漏。由于氦原子的尺寸很小，很容易穿过小孔并穿透外壳，因此这种检测方法可以检测到尺寸很小的小孔（即可以检测到漏气率约为10的小孔）−11～10−12cm3/sec，灵敏度可以与放射性泄漏检测方法相一致，但它比放射性泄漏检测方法更容易。氦气检漏试验方法：首先将包装好的部件放在充满氦气的容器中，并对其施加压力，使氦气通过一个小孔渗入壳体；然后取出，用压缩空气吹走管壳表面剩余的氦气；然后使用质谱仪检测管壳外表面的氦泄漏。

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