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特种气体的应用及安全管理


随着国内半导体和光伏产业的快速发展,对高纯度气体,特别是高纯度特种气体的要求越来越高,对气体质量的要求也越来越高。大多数特种气体都是有毒、易燃易爆、高腐蚀性和高氧化性的,如H2Se、SiH4、Cl2和NF3。因此,如何安全、稳定、可靠地储存和运输特种气体越来越受到公司的重视。

1.5运行管理中的特种气体的几种分类方法是指由高纯元素气生产的纯气体、高纯气体或二元或多组分混合气体,适用于特定领域,对气体有特殊要求。特种气体的类型是任何安全操作和管理的基础。在储存、操作和处置气体之前,您需要了解特殊气体的安全数据表。根据MSDs,特种气体可通过多种方式进行分类。为了便于特种气体的操作和管理,介绍了以下分类方法。

1.根据特殊气体的状态,特殊气体在运输、储存和运输过程中充入压力容器。气体充满压力容器的所有角落,罐壁上的压力平衡。在一般填充压力和温度下始终以气体形式存在的气体称为永久气体,而液化气体称为液化气体。液化石油气分为两类:高压液化气,如HCl和N2O;由于当使用永久性气体时,压力容器中的压力逐渐降低,并且当使用液化气体时,只要压力容器中有液体,压力就不会改变,因此在气体操作管理中,监测永久性气体的剩余量的方法是压力监测,而液化气体的残余量必须配备电子秤和重量监测程序。

2.根据特殊气体的比重计算的比重也称为相对密度。气体比重是指标准条件下气体密度与空气密度之比。在特殊气体的操作中,气体的分子量可以直接反映气体的比重。空气分子量为28.8。以空气分子量作为分离点,工业H2、he、NH3、CH4等中比空气轻的常见气体接近。一比空气重的气体包括AsH3、PH3、SiH4、CF4等。这两种气体的运行和管理模式不同。例如,储气罐中比空气轻的气体的排气位置和气体取样点位于气缸上方,而比空气重的气体的排放位置和气体采样点位于气缸下方。应注意的是,运行中的气体通常处于非标准条件下,因此分子量与空气相似的气体在不同温度下有例外,如常温或高温N2比空气轻。并且冷N2比空气重。

要计算混合物的分子量,首先确定混合物的气体成分和每种组分气体的分子量。例如,计算1%PH3的分子量,PH3分子量为34,分子量为4。计算公式如下:34×0.01+4×0.99=4.3

3.根据特殊气体的化学性质,特殊气体可分为惰性气体、可燃气体、自燃气体、氧化气体和腐蚀性气体。工业中广泛使用的惰性气体包括CF4、C4F8、SF6、AR、CO2、er、Xe、NE等。易燃气体包括AsH3、B2H6、NH3、TEOS和TMB;自燃气体包括SiH4、PH3等。氧化气体包括No、NF3等。腐蚀性气体包括HCl、HBr、BCl3、BF3、SiCl4、POCl3、PF3、PF5等。值得注意的是,许多特殊气体同时具有上述两种性质,如SiH2Cl2和SiHCl3,它们都是易燃和腐蚀性气体。例如,Cl2和F2同时具有腐蚀性和氧化性。

一般而言,在半导体、光伏和其他行业中,在其主要设施的一楼修建了特殊的气室,并根据所用气体的类型和特性对各种气室进行了划分。



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