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硅烷/氮气混合气(SiH4/N2)有何用途?


    硅烷(SiH4):有毒。硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光介质等,还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。
    硅烷在氩气中含2%、氮气中含2.5%、氢气中含1%时,它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃,大于3%时自燃,1%~3%时可能燃烧。硅烷是强还原剂,与重金属卤化物激烈反应,与氯、溴发生爆炸性反应,与四氯化碳激烈反应。因此对硅烷不能使用氟里昂灭火剂。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不与润滑油、脂肪反应。对几乎所有的金属无腐蚀性。有时,玻璃中的碱成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空气也可发生爆炸。
    硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤,如果严重甚至会致命。如果火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸。如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险,不要靠近。处理紧急情况的人员必须要有个人防护设备和适应当时情况的防火保护。不要试图在切断气源之前灭火。
    硅烷气是太阳能电池生产过程中不可或缺的材料,因为它是将硅分子附着于电池表面的最有效方式。在高于400℃的环境下,硅烷气分解成气态硅和氢气。氢气燃烧后,剩下的就是纯硅了。此外,硅烷气可以说是无处不在。除了光伏产业外,还有很多制造工厂需要用到硅烷气,如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂。

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