气体名称

化学式

规格(%)

杂质(ppm)

氦气

He

99.995%

CH₄≤1 CO₂≤1 Ne≤10 H₂≤3 CO≤1 H₂0≤10

99.999%

O₂≤1 CH₄≤1 CO₂≤0.5 Ne≤4 H₂≤1 CO≤0.5 H₂O≤3

99.9995%

O₂≤0.5 CH₄≤0.1 CO₂≤0.2 Ne≤1 H₂≤0.1 CO≤0.1 H₂O≤1

氩

Ar

99.99%

O₂≤10 THC≤10 N₂≤50 H₂≤5 H₂O≤15

99.999%

O₂≤2 THC≤2 N₂≤5 H₂≤1 H₂O≤4

99.9995%

O₂≤1 THC≤0.5 N₂≤2 H₂≤0.5 H₂O≤1

氢

H₂

99.99%

O₂≤5 CO₂≤5 N₂≤60 CH₄≤10 CO≤5 H₂O≤30

99.999%

O₂≤1 CO₂≤1 N₂≤5 CH₄≤1 CO≤3 H₂O≤1

氮

N₂

99.99%

O₂≤50 CO₂≤10 H₂≤10 CO≤5 H₂O≤15 CH₄≤5

99.999%

O₂≤1 H₂O≤2 H₂≤1 HC≤3

氧

O₂

99.995%

Ar≤20 CO₂≤1 N₂≤20 HC≤2

二氧化碳

CO₂

99.995%

O₂≤10 H₂O≤5 N₂≤20 CO≤1 HC≤10

99.999%

O₂≤1  H₂O≤2  N₂≤5  CO≤1  HC≤1

一氧化碳

CO

99.95 %

 氮气<350,氧气<50,水<5

气体名称

化学式

规格(%)

杂质(ppm)

二氧化硫

SO₂

99.9%

 氧+氮<100,水<10,其他<200

一氧化氮

NO

99.5%

 氧化亚氮<4000、二氧化氮<2000、氮气<300、二氧化碳<500

二氧化氮

NO₂

99.9%

氧化亚氮

N₂O

99.99%

氖

Ne

99.995%

H₂≤2 N₂≤5 He≤40 THC≤1 O₂+Ar≤2 H₂O≤2

99.999%

O₂≤1 N₂≤5 H₂O≤2 He≤10

氪

Kr

99.99%

N₂≤20 H₂≤2 O₂+Ar≤5 Xe≤50 H₂O≤3 THC≤3

99.998%

N₂≤3 H₂≤0.5 O₂+Ar≤2 Xe≤4 H₂O≤2.6 THC≤1

氙

Xe

99.99%

N₂≤20 Ar≤10 N₂O≤1 O₂≤2 H₂≤2 Kr≤50 H₂O≤3 HC≤3

99.998%

N₂≤3 THC≤1 N₂O≤0.5 O₂+Ar≤2 H₂O≤2.6 H₂≤0.5 Kr≤4

硫化氢

H₂S

99.9%

 氢气<200ppm、氧气+氮气<100ppm、水<3ppm

液氯

Cl₂

99.9%

 二氧化碳<400、一氧化碳 <10、氢气<200、氮气<100、氧气<20、水 <100

99.999%

氨

NH₃

99%

99.999%

 氧气 <1.0ppm,氮气 <2.0ppm，一氧化碳<1.0ppm水含量<2.0ppm,THC(C1~C3) <1.0ppm

六氟化硫

SF₆

99.99%

 O₂≤10 H₂0≤5 N₄≤40 HF≤0.1 CF₄≤25

合成空气

Air

O₂:19.5～22.5%

H₂O≤5 CO/CO₂≤0.5 THC≤5

零空气

O₂: 19.5～22.5%

H₂O≤5 CO/CO₂≤0.5 THC≤0.1